シリコン光回路とコバルト金属を組み合わせた超小型ヒータ Micro heater combining silicon optical circuit and cobalt metal

遷移金属のコバルトを積層したシリコン光導 … 続きを読む シリコン光回路とコバルト金属を組み合わせた超小型ヒータ Micro heater combining silicon optical circuit and cobalt metal